无需对合光轴的凹槽型.

使用了4CH通道的法兰盘，节省了真空槽的空间。  一次性安装光纤，大幅度削减了工时数（4CH通道法兰盘）。  空气侧光纤两端可自由切割，能轻松抽回。  选用侧光纤两端可自由切割，能轻松抽回。  先用螺钉紧固型的1CH单通道法兰盘。  在高温环境下使用时，可选用耐高温真空光纤。

通过结束带装置和导管附着可以简单地安装。  在易谈的价格下装置,可为设备改善时的成本降低作出贡献。  厚10mm的薄形管。由于可以密封安装，所以可以检测出Z小4mm的位差。  即使在可然性气体中也可使用。

采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙(PFA) ? 能够民晶圆片洗净槽的硫酸等高温液体的检测相对应。(-40 ~ +200℃) ? 实现了0.5mm的高重复精度。 ? 采用了防止液体的结构。

仿晶园片也能稳定检测 增加了示教功能 防止静电产生的误差